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看好半导体前景,日立研磨液产能大增500%

时间:2018-12-25 17:37研磨机技术信息网 点击:

日立化成并于30日盘后公布今年度前三季(2017年4-12月)财报;因3D NAND Flash需求夯、提振CMP Slurry销售增加,加上PCB用感光膜等产品需求佳,带动合并营收大增24.2%至4,977亿日圆,不过因提列电容事业违反独占禁止法相关费用,拖累合并营益下滑11.8%至359亿日圆、合并纯益萎缩5.6%至295亿日圆。

日立化成并指出,因预估本季(2018年1-3月)智慧手机市况将恶化,导致电子材料、树脂材料销售恐逊于预期,因此将今年度(2017年4月-2018年3月)合并营益目标自原先预估的510亿日圆下修至490亿日圆、合并纯益自405亿日圆下修至400亿日圆,合并营收则维持于原先预估的6,700亿日圆不变。

根据嘉实XQ全球赢家系统报价,截至台北时间31日上午12点15分为止,日立化成大跌3.34%至2,837日圆,创一个半月来(2017年12月15日以来)新低水准。

在市场份额占比方面, CMP 研磨液的占比中美国 Cabot 公司保持世界最高份额,但是, Cabot 的市场占有率 2001 年占比 75%, 2003 年占比 65%, 2010 年占比 38%, 2015 年占比 36%,可见随着 CMP 市场的扩大, Cabot 的垄断地位依旧稳固,下降速度缓慢。未来 CMP 研磨液供应市场朝向多元化方向发展,地区本土化自给率在逐渐提升。 2016 年公布数据信息显示, Cabot 公司份额占比下降 1%至 35%,但仍然位居世界第一;美国 Versum 公司在 2016 年市场份额下滑,因此排名从第二位下降至第三位;日本日立化学(Hitachi)由于积极抢占亚洲市场而上升至第二位;排在第四位的是日本的 Fujimi,第五位的是日本的

FijiFilm,第六位是美国的陶氏化学(Dow)。由此可见,目前针对亚洲 CMP 研磨液市场主要还是由美日公司垄断.

看好半导体前景,日立研磨液产能大增500%

2011 至 2016 年世界范围内 Cabot 公司 CMP 研磨液市场占比统计

安集微:中国大陆唯一高端研磨液供应商

安集微电子董事长王淑敏,被称为半导体界花木兰,她如何在外商长期把持的半导体材料领域,拼出让国际大厂不敢轻忽的实力?

小心翼翼换上无尘服,套好洁净靴、口罩、手套,通过风淋室再吹去灰尘,《远见》记者们踏进大陆唯一一家本土半导体化学机械研磨液材料商安集微电子的实验室,只见里头的工作人员,正用生产线上机台实验,将乳白液体滴点在晶圆上,细细抛光。

可别小看这一滴滴乳白液体,这可是半导体制程中最关键的材料之一:化学机械研磨液。工程师杜铭宇一面导览一面说:「不同制程迭代升级,研磨液都有不同的配方。」

只要询问晶圆厂的工程主管,他们都同意,制造程序中,化学机械研磨(CMP)被认为是最精密、很伤成本,也绝不能出错的程序。面对制程愈来愈微缩的趋势,更变得愈来愈不可或缺,90纳米以下的制程一定会用到,甚至这道工序还要做好几次。

过往,这些半导体化学机械研磨液体等关键材料,全部都掌握在外商手里,例如美商嘉柏微电子、陶氏化学,地位难以撼动,对不少半导体晶圆厂来说,更不太可能替换材料供应商,因为一个闪失就可能大大影响良率,损失难以估计。

但如今,后起之秀从大陆崛起。

大陆十年来已成功孕育出第一家本土公司安集,不仅大陆第一大晶圆厂中芯国际埋单,据传2012年时更卖进全球最大半导体公司、制程技术一直最领先的英特尔(Intel ),也已是台积电、联电、日月光的合格供应商。

很难想像,在这大多都是理工男的半导体领域,安集背后的灵魂人物,竟是一位女性。董事长兼首席执行官王淑敏,被媒体昵称为大陆半导体界的花木兰,外表看来纤瘦秀气,但说起话来却宏亮。员工形容她是大陆半导体界第一美女,又是极有魄力的铁娘子。

王淑敏则说自己是「书本上定义的海归派」。1986年郑州大学化学系毕业,读了两年南开大学硕士班,便到美国名校莱斯大学攻读化学博士,毕业后便加入IBM,后来又踏入半导体材料领域,担任嘉柏微电子亚洲技术总监。

当时,王淑敏即时常往返美国及亚洲,发现亚洲半导体材料供应链远远不足,看到商机的王淑敏,毅然在2004年时返回大陆创业,从第一天就想办世界级的公司,做半导体制程的高端研磨液。

从无到有非常辛苦,「困难到想起来都要掉眼泪的,」她回顾。所幸,王淑敏在半导体界有响亮名声,很快地找到几个重量级投资人及政府单位投资支持,才能撑到今天,堪称十年磨一剑。

只不过,初期开发客户时,仍然很残酷。「人家每次一看,唉哟,你是中国公司,做化学机械研磨抛光液?」不少客户眉头一皱觉得这产品肯定是山寨,否则就是品质没保障,甚至一开始连大陆的前几大晶圆代工厂中芯国际、华虹宏力,都保持怀疑态度,「人家可能就测验三个项目,我们则要反覆验证不知几次,就像跳一个高得像墙的门槛一般。」

要切入半导体材料供应链,到底有多难?第一步,要先提供数据审核,在还没客户的状况下,就必须先想办法生出在实际半导体制程中,化学机械研磨设备上实验的数据报告。

通过书面审查,客户才愿意小量尝试,程序很严酷。一位晶圆厂主管说:「就看良率怎样,一翻两瞪眼。」小量验证如果通过,才能进入更正式检验程序,同样也看良率,没有商量余地。

通常,一家新进材料业者要名列合格供应商名单,最少一年半载,甚至更长。

一路过关斩将「够强人家才会帮你」

王淑敏形容,这些验证程序,就跟奥运会比赛一样,有初筛选、预赛、复赛、半决赛、总决赛……,一关过一关。

然而,机会是留给准备好的人。有一次,面对一个大客户,安集只是「备选」,但因为国外材料大厂供货出问题,又不能让生产线停下来,客户便姑且给了一次机会,没想到一次应急事件,却让客户刮目相看,此事也在半导体界传开,「这是硬碰硬拼出来的!」王淑敏回忆。

另外,虽然不少化学机械研磨液专利早在2000年时,就卡死在外商手里,但是因为制程快速变迁,旧专利已经不符时代,便给新进厂商大显身手的机会。

王淑敏比喻,化学机械研磨液,要求精细的程度到10~20个埃米(angstrom),等于细到头发的十万分之一,「就像一头恐龙要管理蚂蚁王国一般困难。」

但她做到了。

近几年来安集陆续得到肯定。被称为中国半导体第一人、展讯创办人陈大同在演讲里曾提及,「安集是大陆唯一化学机械研磨液半导体材料商,每年成长40~60%。」

中国科学院微电子所所长叶甜春回想,本土的半导体材料供应链,这几年是从无到有,万分艰辛,但是「一个个都冒出头来了」。

今日的安集,正是这环环相扣供应链中的一个大陆代表。

去年,大陆国务院推出1200亿人民币的集成电路投资基金,王淑敏嘴角露出微笑,「对我们苦过来的人,还是觉得too

little, too late,不过这的确迎来了一个势头,等于帮行业造了声势,」要真正有实力的公司才可能拿到投资,「绝对不是天上掉下来一大把钞票,要自己够强,人家才会帮你!」

CMP 研磨液产品种类多,成分复杂技术壁垒高